声—振动多功能传感器减振封装研究宫纯青; 郭俊敏; 殷景华; 刘晓为中国知网哈尔滨理工大学; 中国电子科技集团公司第四十六研究所摘要本文利用ANSYS(有限元分析软件),对微振动-声多功能传感器的封装关键部件—减振橡胶和芯片粘合体进行实体建模和计算机模拟(模态分析、静态和瞬态分析)。通过模拟结果确定空心模型最佳尺寸。关键词微振动-声多功能传感器 有限元分析 减振橡胶