TFT-LCD制造行业VOCs排放特征及减排效果

作者：高齐; 马建; 胡吉国; 盛守祥^*; 陈琛; 冯俊亭

来源：液晶与显示, 2020, 35(10): 1087-1094.

• TFT-LCD生产
• VOCs
• 排放特征
• 光刻胶

为掌握和了解TFT-LCD行业生产过程中,各工艺环节挥发性有机物(VOCs)的排放特征,以国内某TFT-LCD制造公司为例,研究了各生产车间的VOCs浓度分布。结果表明:阵列生产车间VOCs均值浓度最高,波动范围为4.14～11.19×10~(-6)(1～12月);彩膜(CF)生产车间光刻胶成分比较复杂,绿胶产线VOCs均值浓度最高,为4.6～14.50×10~(-6)(1～12月);阵列和CF车间VCD区域,VOCs浓度最高;降低TFT-LCD生产车间VOCs的浓度关键在于源头控制,投加沸石转轮吸附设备对生产车间VOCs浓度的降低具有很明显的作用,可以去除大约60.71%～71.33%的有机废气。