CPW在铁电薄膜介电常数测量中的结构优化

作者：傅强之; 唐宗熙; 占小武

来源：电子质量, 2013, (03): 55-58.

• 复介电常数
• 共面波导(CPW)
• 铁电薄膜 Index Terms-complex permittivity
• coplanar waveguide(CPW)
• ferroelectric thin film

共面波导线(CPW)被广泛用于测量铁电薄膜的复介电常数。共面波导电路通常被制作在沉淀了薄膜的铝制基片上,该文分析了薄膜的复介电常数与共面波导(CPW)的尺寸与谐振频率、品质因数之间的关系。由于铁电薄膜通常是中低损耗材料,并且厚度很薄,所以周边环境对介电常数的测量结果准确度有较大的影响。为了获得更高的测试灵敏度的同时获得更高的准确度,该文对共面波导谐振器(CPW)在不同尺寸条件下,谐振频率的改变,品质因数的变化和高次模抑制进行了分析,结果显示最优结构尺寸是共面波导的缝隙宽度(g)等于共面波导的厚度(h),同时,缝隙的宽度(g)不能超过共面波导微带线宽度的两倍(2s)。

• 单位
  电子工程学院; 电子科技大学