X光单级衍射光栅的研究进展

作者：黄成龙; 张继成; 易勇; 曹磊峰; 王红斌

来源：材料导报, 2013, S2: 164.

• X光单级衍射光栅
• 黑白透射光栅
• 电子束光刻
• X射线光刻 X-ray single-order diffraction grating
• black-white transmission grating
• electron beam lithography
• X-ray lithography

介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处。阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点。综述了X光单级衍射光栅的发展历程以及存在的问题,并指出了其未来的研究方向。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 西南科技大学